Сорбирующие ловушки

К сорбирующим ловушкам относятся механические (рис.13.3, а) и адсорбционные (рис.13.3, б). Элемент 1 изготовлен из пористого материала (медный фильтр, тонкопористое и широкопористое стекло) (рис. 13.3, а). Регенерация невозможна, поэтому по истечении срока службы фильтр заменяется. Если фильтр изготовлен из не­ржавеющей стали, то его можно продуть атмосферным воздухом при температуре 300 ~500°С.

Элемент 1 изготовлен из адсорбирующих материалов (активированный уголь, цеолит, окись алюминия) (рис. 13.3, б). Регенерация от масла и воды про­изводится следующим способом: элемент 1 нагревают с помощью нагревателя 2 до 300…500⁰C. При этом во время этого процесса клапан 3 закрыт для защи­ты вакуумной системы.

К этим ловушкам относят ионные ловушки (рис, 13.3, в). Принцип работы таких ловушек аналогичен работе ионных насосов. Создается разность потенциалов U = 3 кВ. Положительные ионы бомбардируют поверх­ность корпуса и разрушают поверхностную пленку масла. Это приводит к вы­делению водорода и полимеризации углеводородов в твердые вещества. Ох­лаждение корпуса и экрана производится водой.