БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

 

1. Иевлев В.М. Рост и субструктура конденсированных плёнок: учеб.пособие / В.М. Иевлев, А.В. Бугаков, В.И. Трофимов. – Воронеж: ВГТУ, 2000. – 386с.

2. Балашов Ю.С. Технологические операции в производстве РЭС: учеб. Пособие / Ю.С. Балашов, А.С. Бадаев, В.П. Иевлев. – Воронеж: ВГТУ, 2006. – 147с.

3. Ефимов И.Е. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надёжность: учеб. пособие / И.Е. Ефимов, И.Я. Козырь, Ю.И. Горбунов. – 2-е изд., перераб. и доп. – М.: Высш.шк., 1986. – 464с.

 

 

СОДЕРЖАНИЕ

 

Лабораторная работа №1. Исследование теплового расширения твердых тел и термических напряжений в спаях металл-стекло ………………………………………………………1

Лабораторная работа №2. Исследование распространения ультразвуковых волн в твёрдых телах………………..……….23

Лабораторная работа №3. Исследование размерного эффекта в тонких плёнках……….………………………………..42

 

 

МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯ

к лабораторным работам №4-6

«Исследование физических свойств

твердых тел»

по дисциплинам «Физические основы микроэлектроники» и «Физико-технологические основы микро- и наноэлектроники» для студентов специальностей 210201

«Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и 210302 «Радиотехника»

очной и заочной форм обучения

 

Составители:

Балашов Юрий Степанович

Бадаев Андрей Станиславович

 

В авторской редакции

 

Компьютерный набор О.П.Козыревской

 

Подписано в печать 2010.

Формат 60×84/16. Бумага для множительных аппаратов.

Усл. печ. л. . Уч.-изд. л. . Тираж 50 экз.

"С" . Заказ №

 

 

ГОУ ВПО «Воронежский государственный технический университет»

394026 Воронеж, Московский проспект., 14