Получение

Реакция тетрахлорида кремния и тетрагидроалюмината лития:

Реакция силицида магния с разбавленными кислотами (лучше - фосфорной):

Физические свойства

Моносилан представляет собой бесцветный газ с неприятным запахом, самовоспламеняется на воздухе, реагирует с водой, не растворяется в этаноле и бензоле.