Газовыделение.

Причиной газовыделения является десорбция молекул газа с поверхности материалов стенок вакуумной камеры, а также диффузия газа из объема материала. Для повышения уровня предельного вакуума в установках обычно проводят термическое обезгаживание стенок вакуумной системы, которое реализуют путем прогрева системы при температуре 200 – 400 ⁰С в течение 10 – 24 часов. В Таблице 5 в качестве примера приведены значения скоростей газовыделения для различных материалов в начале процесса откачки и после прогрева системы в течение 24 часов.

Таблица 5.

Скорости газовыделения типовых материалов вакуумных установок.

Материал	Скорость газовыделения, тор*л/см2*сек	Температура прогрева, 0С
Начальная	После прогрева
Тефлон	10-7-10-8	Низкая
Стекло	10-8-10-9	10-14-10-15
Керамика	10-8-10-9	10-14-10-15
Металл	10-6-10-9	10-14-10-15

 

С внутренних поверхностей материалов вакуумных систем вначале десорбируются молекулы воды с небольшим количеством водорода и углекислого газа. По мере обезгаживания системы из ее стенок выделяются молекулы окиси углерода и воды, а также незначительное количество азота и кислорода.

Оценку соотношения газовыделения и натекания в вакуумную систему через микротечи проводят, определяя натекание системы Q по соотношению:

, (12)

где ΔР – изменение давления системы объемом V за время Δt при отключенных вакуумных насосах.

ЛЕКЦИЯ 11. МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ СТРУКТУР.