Билет 10
Билет 9
Билет 8
Билет 7
Билет 6
Билет 3
Билет 2
МИКРОСХЕМЫ И ИХ ПРИМЕНЕНИЕ
Редактор В. С. Темкин
Редактор издательства Т. В, Жукова
Художественный редактор Н. С. Шеин
Технический редактор Т. Н. Зыкина
Корректор И. Г. Зыкова
ИБ №861
Сдано в набор 29.06.83 Подписано в печать 23.09.83 Т-18о8)
Формат 84X108 1/32 Бумага типографская № 2 Гарнитура литературная
Печать высокая Усл. печ. л. 14,28 Усл. кр.-отт. 14,28 Уч.-изд. 18,7
Тираж 200 000 экз. (2 завод: 50001 — 100000 экз.) Изд. л» 19475 Зак. N 3197
Цена 1 р. 70 к.
Издательство «Радио и связь». 101000 Москва, Почтамт, а/я 693
Ордена Октябрьской Революции и ордена Трудового Красного Знамени Первая Образцовая типография имени А. А. Жданова Союзполиграфпрома при Государственном комитете СССР по делам издательств, полиграфии и книжной торговли, Москва, М-54, Валовая, 28.
Откачное оборудование для низкого и высокого вакуума (механические и паромасляные вакуумные насосы), блочная схема вакуумных установок.
Принцип действия метода импульсно-плазменного напыления, особенности метода, сепарация плазменного потока, физические принципы образования плазмы в отсутствие плазмообразующего газа.
Откачное оборудование для получения сверхвысокого вакуума (физические принципы, положенные в основу работы турбомолекулярных, магниторазрядных, криогенных и сорбционных насосов).
Лазерное осаждение тонких пленок, конструкции лазерных испарителей.
Билет 4
Генерация лазерного излучения, основные физические свойства лазерного излучения.
Получение пленок термическим испарением, резистивный способ изготовления пленочных образцов, конструкции и материалы для испарителей.
Билет 5
Режим свободной генерации и режим модуляции добротности.
Ионно-лучевое распыление материалов, ионное травление, устройства для формирования ионных пучков.
Классификация лазерных излучателей, твердотельные лазеры.
Метод электронно-лучевого напыления тонких пленок (особенности, достоинства и недостатки).
Газовые и полупроводниковые лазеры, использование в технологических процессах.
Метод высокочастотного распыления диэлектриков.
Принципы построения лазерных технологических установок; классификация оптических систем лазерных технологических установок.
Магнетронное распыление. Достоинства, недостатки.
Принцип действия метода импульсно-плазменного напыления, особенности метода, сепарация плазменного потока, физические принципы образования плазмы в отсутствие плазмообразующего газа.
Достоинства методов ионно-плазменного распыления. Трехэлектродная система распыления.
Приборы для измерения степени вакуума, датчики вакуумметров.
Физические явления, лежащие в основе методов ионно-плазменного распыления. Плазма. Основные понятия, характеризующие плазму как особое состояние материи. Диодное распыление.