Адгезионная прочность ХТР
Очень важная проблема это проблема требуемой адгезионной прочности. Адгезионна прочность связана напрямую с внутренними механическими напряжениями, которые образуются в процессе формирования покрытий и поэтому существуют технологические приёмы которые приводят к снижению напряжений, и приёмы обеспечивают необходимый уровень адгезионной прочности:
1. Тщательная и многостадийная подготовка поверхности (механическая, химическая, термическая, ультразвуковая очистка, ионная очистка).Для удаления оксидных слоёв является восстановление металлов в результате его прогрева детали в среде сухого водорода.
2. Формируют промежуточные адгезионно активные слои, эти слои имеют природу отличную как от материала основы, так и от материала который затем наносится, однако имеют требуемую адгезионную прочность как к материалу изделия, так и к материалу наносимому. Путём термообработки изделия происходит диффузия компонентов сплава из объёма на поверхность. Можно такой селективности добиться кроме нагрева и ионным травлением.
3. Термообработка покрытия при нагреве осуществляются диффузионные процессы и в результате происходит снижение внутренних напряжений, могут образовываться переходные слои в результате диффузии материала покрытия или материала изделия друг с другом, всё это способствует к повышению адгезионной прочности.
+++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++++нуту 1=й лекции)) у Кирилла тоже)
Условия выращивания плёнок:
· Температура изделия 700-900оС
· Давление 10-2 – 10 кПа
· Содержание CH4 до 5%
· Температура нити( вольфрамовой) 1800-2000оС
· Скорость роста 10 нм в час.
· Расход газа до 200см3/мин
Кроме активации смеси существуют и другие способы активации смеси и получения активных углерод-содержащих частиц и атомарного водорода. К таким способам относится:
· Плазменный
· Высокочастотный разряд
· Тлеющий разряд
· Дуговой разряд
Являются наиболее распространённые
Во всех случаях ионизации возбуждения не высока и составляет от 10‑6 до 10-3. Газовая температура в разрядах (темпер тяжёлых частиц) может достигать 5000С. Кроме того существуют ещё несколько видов активации газовой смеси:
· Оптические разряды
· Газовые разряды
· Пламенная активация
В результате получаются алмазные и алмазоподобные плёнки. В результате таких процессов получаются поликристаллические алмазные плёнки, в последние десятилетия удалось получить полиалмазные диски толщиной до долей мм.
Области применения покрытий:
· Металлизация углеродных волокон и тканей для композиционных материалов.
· Металлизация порошков алмаза, эльбора порошков из других материалов.
· Тугоплавкие защитные покрытия.
· Анти диффузионные барьерные слои.
· Металлизированные не термостойких материалов в частности пластмасс.
· В связи с возможностью нанесения толстых покрытий ХТР применяется для восстановления изношенных деталей и их упрочнения.
· Покрытия на основе хрома, никеля, и.т.д.
Существует большое направление в электротехнике и электронике в которой метод ХТР тоже очень распространён.