Исторические этапы изучения поверхности и тонких покрытий.
Материально-техническое обеспечение дисциплины (модуля)
Контроль и оценка результатов обучения.
Примерная модульно-рейтинговаякарта по дисциплине
| Виды учебной работы | Максимальный балл | Зачетный балл |
| Модуль 1. Линейная алгебра | ||
| в том числе | ||
| Посещение лекций | ||
| Посещение практических занятий | ||
| Выполнение контрольной работы | ||
| Mодуль 2. Аналитическая геометрия | ||
| в том числе | ||
| Посещение лекций | ||
| Посещение практических занятий | ||
| Выполнение контрольной работы | ||
| Модуль 3. Математический анализ | ||
| в том числе | ||
| Посещение лекций | ||
| Посещение практических занятий | ||
| Выполнение контрольной работы | ||
| Модуль 4. Теория вероятностей и математическая статистика | ||
| в том числе | ||
| Посещение лекций | ||
| Посещение практических занятий | ||
| Выполнение контрольной работы | ||
| Модуль 5. Дискретная математика | ||
| Промежуточная аттестация -зачет | ||
| Итого по дисциплине: |
Аудиторный фонд по адресу: ул.Никоямская 30 – ауд.301, 303, 304, 305.
Авторы: к.п.н., доцент Садыкова А.Р.
Утверждено на учебно - методическом совете института САиИ от 15.06.2011 № 8
Рассмотрено на заседании учебно-методического совета университета от ________№
1-й этап. Изучение стр-ры и строения поверхностных слоёв реального твёрдого тела.
| 1. Абсорбированные слои которые в основном состоят из паров и углеводородных загрязнений |
| 2. Плёнки естественного оксида, возникает под действием кислорода |
| 3. Дефектный слой, в котором находятся микротрещины, дефекты обработки, и.т.п. |
| 4. Основной материал |
Итак, структуру поверхностного слоя можно рассматривать как многослойный материал. С этого и началось изучения стр-ры поверхности, и были сделаны следующие выводы:
«Св-ва поверхности в значительной степени определяются абсорбированными слоями, стр-рой, составом оксидной плёнки и дефектного слоя»
2-й этап. Исследование атомно-читых поверхности, изучение которых стало возможно благодаря вакуумной технике. Изучение атомарно-чистых поверхностей привило к изучению микроэлектроники. Эти чистые пов-ти получают расколом кристаллов в вакууме.
· Нанесение в высоком вакууме тонкого слоя на подложку.
· Очистка поверстного слоя в вакууме с помощью ионнолучевое травление.
· Нагрев для высоких температур в защитной среде или высоком вакууме.
Однако ионное или ионнолучевое травление, нагрев, могут приводить к изменению поверхностных слоёв. А нагрев до очень высоких температур не всегда позволяет удалять химически сорбированные слои или оксиды.
Установлено что атомарночистые объекты имеют специфическое строение и св-ва. И определены фундаментальных характеристики поверхностных слоёв, что позволило сформировать законченное представление о поверхностных слоях и использовать их в микроэлектронике, как слои с особыми физическими св-ми.
3-й этапхарактеризуется, что внимание было обращено на изучение межфазных границ в многослойных системах и композитах, а также их изменение при внешних воздействиях. Успехи современного материаловедения с развитием наноматериаловединием в значительной степени определяются изучением межфазных слоёв (границ). Роль межфазных границ является определяющим при толщинах плёнок в наноразмерах.
В зависимости от формы и размеров можно классифицировать на: одномерные двухмерные и трёхмерные
Одномерные - микро и наночастицы конденсируемой фазы св-ва которых зависят по крайней мере в 2-х направлениях (кластеры, капли)
Двухмерные - мерные тонкие плёнки, покрытия, св-ва которых зависят в одном направлении, а именно толщина покрытия.
Трёхмерные - твёрдые тела и жидкости св-ва которых не зависят от размеров
Покрытие можно получать:
- Формирование из газовой фазы различными способами;
- Формирование из жидкой фазы (из расплава, газопламенного потока)
- Формирование из веществ твёрдой фазы (припекание фольги, перенос при трении)