Критичное оборудование

Предприятие должно изучить возможности критичного инструмента и оборудования, используемого на технологических операциях, опре­деленных как критичные. В качестве примеров такого оборудования можно назвать: установки совмещения и экспонирования; установки для реактивно-ионного травления; диффузионные печи; установки ионной имплантации; установки для шлифовки обратной стороны пластины; оборудование для монтажа кристалла; установки для гер­метизации корпуса и другие

Критичное измерительное оборудование

По мере увеличения степени интеграции микросхем возрастают требования к контрольно-измерительному оборудованию. Предпри­ятие должно изучить возможности критичного измерительного обо­рудования, используемого для проверок, аттестации или мониторинга операций, определенных как критические. В качестве примеров тако­го измерительного оборудования можно назвать: оборудование для контроля линейных размеров элементов; оборудование для измере­ния толщины слоев; оборудование для контроля электрических па­раметров; оборудование для контроля дефектов; оборудование для контроля герметичности; оборудование для ускоренных испытаний и другое.