Газовыделение из обрабатываемых в вакууме изделий

Общее количество газа м³·Па, выделяющегося из обрабатываемых в вакууме изделий и поступающего в вакуумную систему можно оценить по формуле

где – масса обрабатываемых в вакууме изделий, кг; – удельное газовыделение из материала обрабатываемых изделий, м³·Па/кг (для каждого материала определяется опытным путем).

Поток газов м³·Па/с, поступающих в вакуумную систему рассчитывается из выражения

где – длительность процесса вакуумной обработки, с; – коэффициент неравномерности процесса газовыделения во времени (обычно =1,5…3,0).