Пленочные проводники и контактные площадки

Пленочные проводники и контактные площадки предназначены для объединения элементов ГИМС в единую схему (рис. 6.5). В местах соединения пленочных проводников 1 с другими пленочными элементами, например резисторами 2, проводящие пленки образуют контактные переходы 3.

Для присоединения внешних выводов микросхемы и выводов навесных элементов пленочные проводники заканчиваются контактными площадками 4. В тонкопленочных ГИМС для напыления проводящих пленок и контактных площадок используют золото, медь и алюминий. Для улучшения адгезии к подложке проводящую пленку напыляют на подслой хрома или нихрома, а для защиты от окисления проводящие пленки покрывают слоем никеля. В результате проводящие пленки оказываются трехслойными. В толстопленочных ГИМС для создания проводников и контактных площадок применяют проводящие пасты.

В ряде случаев в ГИМС применяют навесные элементы: резисторы, конденсаторы, трансформаторы и т. д., имеющие гибкие или жесткие выводы. Установка этих элементов осуществляется на подложке с помощью клея. Присоединение выводов к контактным площадкам производится путем пайки или сварки.