Пьезоэлектрические чувствительные элементы
В них используется пьезоэлектрический эффект, сущность которого состоит в том, что под действием приложенного усилия на гранях некоторых кристаллов (кварца, титана, бария, турмалина, сегнетовой соли и др.) появляются электрические заряды (прямой пьезоэффект), а при внесении пьезоэлемента в электрическое поле он деформируется (обратный пьезоэффект).
При действии силы F на сжатие или растяжение на гранях пластины возникают разнополярные электрические заряды q (рис. 9.10).
Рисунок 9.10 – Возникновение пьезоэффекта в кристалле кварца: 1,2- пластины кварца; 3- электропроводящая фольга; 4- консоль крепления
пластин.
В общем виде плотность зарядов d зависит от механического напряжения кристалла s:
,
где d - величина, постоянная для данного типа материала и конструкции чувствительного элемента.
Если к кристаллу приложить внешнее электрическое поле Е (подвести электрическое напряжение), то он начнет деформироваться – изменять свои геометрические размеры, а значит, и электрическую емкость. Переменное внешнее электрическое поле приводит к возникновению в кристалле механических колебаний, частота которых зависит от его величины и конструкции. Такие пьезодатчики называются кварцевыми резонаторами – в них основная частота механических колебаний зависит от собственной частоты кристалла:
где Ei - модуль упругости пластины, r - плотность, Δd - расстояние между краями пластины.
Если включить кварцевый резонатор Пэ по схеме автогенератора (рис.9.11), то на выходе ОУ возникнет сигнал с частотой f, зависящей от приложенного внешнего воздействия – усилия, температуры, вибрации и т.п.
Конденсатор Пэ с кварцевой пластиной включен на инвертирующий вход операционного усилителя ОУ. Ток насыщения конденсатора создает падение напряжения на инвертирующем входе ОУ, которое инвертируется и изменяет знак питания цепи Пэ-R, в результате чего возникают колебания, частота которых определяется ее постоянной времени. Частота колебаний генератора совпадает с собственной частотой кварца и возникают резонансные автоколебания.
Рисунок 9.11 – Кварцевый автогенератор
Чувствительные элементы пьезорезонансных датчиков выполняют в виде резонатора той или иной формы – прямо-угольной, квадратной, круглой и т.п. Пьезоэлектрические датчики используются при измерении усилий, давлений, вибраций и других физических величин.