Логические элементы на МЕП-транзисторах

Полевые транзисторы МЕП-типа имеют структуру “металл-полупроводник”; их строят на основе арсенида галлия (AsGa — соединение галлия с мышьяком). В сравнении с германием AsGa имеет следующие преимущества:

Ø более высокую подвижность электронов в слабых электрических полях (приблизительно в пять раз);

Ø почти в полтора раза шире запрещенную зону, которая обеспечивает высо­кое удельное сопротивление подкладки (как следствие, подкладки из AsGa служат полуизолирующим материалом);

Ø очень малые паразитные емкости между электродами МЕП-транзистора.

На основе арсенида галлия достигается десятикратное повышение быстродей­ствия схем при снижении мощности потребления вдвое. Однако арсенид галлия Не позволяет строить МОП-транзисторы с изолированным затвором, поскольку он не образует стойких оксидов. В полевых МЕП-транзисторах используют барьер Шотки на границе контакта металла с полупроводником. Поэтому МЕП-транзисторы также называют “полевыми транзисторами с барьером Шотки” (ПТШ).

Структура арсенид-галлиевого МЕП-транзистора (поперечный разрез) показана на рис. 2.28, а. Транзистор создается на подкладке из нелегированного AsGa. На по­верхности 'Иодкладки ионным методом формируют сильно легированные л+-области истока и стока, а потом тонкий слой канала n-типа толщиной d0 = 0,2 мкм. На по­верхность подкладки в канале наносят металлический электрод затвора (например, сплав титан-вольфрам)

Для обеспечения омических контактов с истоком и стоком применяют металли­ческие электроды на основе композиции германий-золото. На поверхность подкладки между контактами наносят слой диэлектрика, например, диоксида кремния. Ме­таллический электрод затвора создает в канале обедненный электронами слой — барьер Шотки высотой 0,8 В. Пространственные размеры барьера изменяются под действием напряжения затвора. Собственно проводящий канал толщиной dK огра­ничен областью барьера и подкладкой. Между затвором и истоком подается управ­ляющее напряжение Uзи, а на сток — напряжение питания плюс Ucc. При измене­нии управляющего напряжения изменяется толщина обедненного слоя dБ и прово­дящего канала dK = d0- dБ, его проводимость и ток стока.

 

Пороговое напряжение UП определяется из уравнения

, где

C1, C2 — константы, Nd — концентрация доноров в канале. Если напряжение Uзи(затвор-исток) достигает порогового значения, то граница обедненного слоя смыкает­ся с подкладкой dK = d0- dБ = 0; при этом толщина проводящего слоя и ток стока Iс равны нулю.

Если при напряжении Uзи= 0 есть проводящий канал и протекает рабочий ток, то МЕП-транзистор называется нормально открытым,он работает в режиме обеднения. Если при Uзи = 0 барьер Шотки перекрывает весь канал и рабочий ток не протекает, то МЕП-транзистор называется нормально закрытым;он работает в режиме обогащения.

На рис. 2.28, б представлены сток-затворные характеристики нормально откры­того (кривая 1) и нормально закрытого (кривая 2) МЕП-транзистора, а также их входная характеристика (кривая 3). Для нормально открытых МЕП-транзисторов управляющее напряжение на затворе, при котором протекает ток стока Iс, может изменяться от отрицательных значений до небольших положительных (не больше 0,6 В). При напряжениях, больших Uзи > 0,6 В, в его канале возникает ток затвора I3, поскольку открывается переход металл-полупроводник. Поэтому ток стока ограни­чен значением Iсм1 Для нормально закрытых транзисторов напряжение затвора, при котором протекает ток стока, положительное и может изменяться только в узких пределах (0...0,6 В). Максимальный ток стока ограничен значением Iсм2. Для транзи­сторов с одинаковыми размерами канала (длиной и шириной) Iсм1>>Iсм2.В схемо­технике применяют нормально закрытые и нормально открытые МЕП-транзисторы.

Варианты схем логических элементов НЕ, НЕ ИЛИ на МЕП-транзисторах пока­заны на рис. 2.29.

Схема НЕ (рис. 2.29, а) содержит пассивный транзистор VT1 (нормально открыт) и входной активный транзистор VT2 (нормально закрыт). Пассивный транзистор VT1 включен по схеме двухполюсника и выполняет роль источника стокового тока, значение которого практически не изменяется в широком диапазоне изменения напря­жения между стоком и истоком.

К выходу элемента НЕ подключается аналогичный инвертор. Он в статическом режиме представлен эквивалентной схемой из последовательно включенных диода Шотки (барьера металл-полупроводник) и сопротивления между затвором и истоком RЗИ. Напряжение источника питания в схеме UCС = 1,5 В; усредненные значения по­роговых напряжений для транзисторов VT1 и VT2 соответственно равны UП1= = -0,3 В и UП2 = 0,15 В.

При UВХ = UIL < UП2 транзистор VT2 закрыт, ток стока IС2 = 0 и на выходе уста­навливается уровень напряжения UOH . Ток 1С1 открытого транзистора VT1 переклю­чается в затвор инвертора нагрузки. Поскольку ток IС2 составляет единицы милли­ампер, а сопротивление Rзи измеряется десятками ом, то выходной уровень практи­чески определяется прямым напряжением на диоде VD.

Уровень напряжения UOH мало зависит от значений источника питания UСС. то­ка IC1, и понижается с увеличением коэффициента объединения и температуры.

При UBX = Uih > UП2 транзистор VT2 открывается и через него протекают токи стоков транзистора VT1 и предыдущего транзистора (источник входного сигнала). На выходе устанавливается низкий уровень UOL= 0,05 В.

Уровень UOL понижается с уменьшением токов стоков и сопротивления RСИ ме­жду стоком и истоком. Если допустить, что U1=UH, U0=UL , то амплитуда логического сигнала Um = UIU0 = 0,55 В. Помехоустойчивость элемента НЕ ML= 0,16 В, Мн = = 0,26 В, что значительно меньше, чем для схем на n-МОП транзисторах.

Схема двухвходового элемента НЕ ИЛИ содержит нормально открытый пас­сивный транзистор VT1, входные нормально закрытые транзисторы VT2 и F73, включенные параллельно (рис. 2.29, б).

При UX1 = UX2 – UIL транзисторы VT2 и VT3 закрыты, на выходе Y устанавлива­ется высокий уровень напряжения UOH. Если на одном из входов или на обоих дей­ствует напряжение Uih то соответствующий транзистор (или оба) открываются и на выходе устанавливается уровень UOL. Параметры элемента НЕ ИЛИ аналогичны схемам, изображенным на рис. 2.29, а.

Схема двухвходового элемента НЕ ИЛИ с повышенной помехоустойчивостью показана на рис. 2.29, в. Входные диоды Шотки VD1 и VD2 реализуют операцию ИЛИ, транзисторы VT1 и VT2 создают инвертор, а транзистор VT3 вместе с диода­ми — это цепь смещения уровня порога транзистора VT2.

В данном элементе в сравнении со схемами, изображенными на рис. 2.29, а и б, обеспечивается большая помехоустойчивость и меньшая ее зависимость от тех­нологического разброса пороговых напряжений транзисторов. Это достигается ус­ложнением схемы, увеличением ее площади на кристалле и -использованием друго­го источника питания минус UCC2.

В схеме применяют только нормально открытые транзисторы с напряжениями питания UCC1 = 1,5 В; UCC2 = -1 В. Для транзисторов VT1 и VT3 UП1 = UП3= - 0,7 В, а для транзистора VT2 UП2 = - 0,45 В.

Прямое напряжение на диодах Шотки при протекании через них тока IС3 равно приблизительно 0,7 В (минус на катоде). Напряжение на затворе транзистора VT2 определяется из зависимости UЗИ= UВХ – UДШ. которая является практически ли­лейной, поскольку UДШ = const.

При UВХ = UIL= 0 напряжение UЗИ = - 0,7 В, что меньше UП2, и транзистор VT2. закрыт, на его выходе устанавливается высокий уровень напряжения UOL 1 В. При UВХ = UIH= 1 В напряжение UЗИ = +0,3 В, что больше UП2,и транзистор VТ2 открыт, на его выходе устанавливается низкий уровень напряжения UOL≡ 0,01 В. Таким об­разом, использование цепи смещения позволяет уменьшить значение U0, увеличить U1 и логический перепад UM = U1 - U0 = 1 В.

Промышленность выпускает схемы на МЕП-транзисторах серии К6500, которые характеризуются следующими параметрами: UCC1 = 4 В, UCC2 = -2,4 В; UH = 0,9 В; UЛ = 0,1 В; средняя задержка распространения tп = 0,15 нc, мощность, потребляе­мая одним логическим элементом, РСC = 5 мВт.