Критичные параметры среды
Предприятие должно вести контроль параметров технологических сред и энергоносителей, определенных как критические. В качестве примеров таких параметров можно назвать: параметры электронной гигиены; параметры технологических газов, химических реагентов и деионизованной воды; параметры, необходимые для защиты изделий от воздействия статического электричества; параметры, связанные с защитой окружающей среды и другие.
В зависимости от способов осуществления контроль делится на on-line и off-line контроль (или на внутрипроцессный — оперативный контроль и внепроцессный — автономный контроль).
Выбор между средствами on-line и off-line контроля должен быть адекватен целям и задачам, которым этот контроль служит. При необходимости могут быть использованы различные, дополняющие друг друга, методы.
Примеры методов off-line контроля: построение гистограмм; анализ Парето; регрессионный анализ; диаграммы причин и результатов (диаграммы Исикавы); проверка статистических гипотез, доверительные интервалы; методы планирования эксперимента; анализ точности технологического процесса; аттестация измерительных средств и другие.
Примеры методов on-line контроля: протоколы измерений; контрольные листы (чек-листы); контрольные карты; мониторинг параметров технологических операций и сред и другие.
Приведенное деление методов не является жестким. Так; контрольные карты могут быть не только средством on-line контроля, но и средством off-line контроля, если речь идет о представлении результатов за длительный период. С другой стороны, интегрирование (встраивание) вычислительных средств в современное оборудование позволяет осуществлять статистический анализ (построение регрессионных зависимостей, проверку статистических гипотез и т. д.
непосредственно внутри производственной линии; таким образом, статистический анализ становится, по — существу, методом on-line контроля.