Микродефекты сращенных структур

Другим важным фактором технологии прямого сращивания пластин является наличие микродефектов, от которых зависит качество изготовляемых приборов. Сосредоточим внимание на рабочей пластине, которая является основой для активных элементов. Концентрация межузельного кислорода [O_i] и кислородных преципитатов в рабочей пластине играет определяющую роль в определении содержания микродефектов в сращенных пластинах. Известно, что преципитаты кислорода удивительным образом улучшают качество пластин посредством геттерирования быстродиффундирующих примесей металлов. Большое количество исследований [5] было посвящено установлению связи между [O_i], преципитатами кислорода, объемными дефектами и микродефектами поверхности. Исследовался также процесс отжига, обязательный для достижения бездефектной поверхности кремния, а также процессы, вызывающие дефекты поверхности, такие как окисление, приводящее к накоплению дефектов. Например, наличие преципитатов кислорода и лишенных кислорода участков (DZ) будут напрямую зависеть от температуры, используемой для сращивания пластин. Связывание двух пластин кремния каждая из которых имеет определенную концентрацию кислорода и свою термическую предысторию, не нарушает плоскость сращивания. Это показано в [5] для двух SiO₂ // SiO₂ сращенных окисленных пластин кремния (Рис.10). Можно увидеть отсутствие линейных дефектов, пересекающих DZ с каждой стороны связывания. В случае, если дефекты связывания присутствуют в виде пустот, вызванных малыми частицами, дефекты будут присутствовать в форме дислокаций, распространяющихся вдоль плоскости скольжения, противоположной направлению сращивания.