И использовании излучения малой когерентности (б)

 

а) б)

 

• Размер области максимального контраста в поперечном сечении сфокусированного пучка определяется выражением Dx, Dy = 0,9<λ>, тогда как размер локализованной области по глубине фокусировки равен Dz = 1,8<λ> /A² . А – числовая апертура объектива

• Если учесть выражение для средней длины когерентности

L_c ≈ 0,44<λ>²/Δλ,

получим для разрешения по высоте:

• Фазовая неоднозначность отсутствует.

Главный недостаток этого типа интерферометров: при одном измерении получается только одно сечение профиля, - требуется большое число измерений и большое время для исследования объектов, которые имеют большую глубину профиля.