Документация к Surfscan 6220

Так как вся документация к установке измерения дефектности пластин Surfscan 6220 присутствует только на английском языке, потребовалось выполнить её перевод. Основная информация, позволяющая обеспечить работоспособность прибора и осуществлять управление им, приведена ниже.

Краткое описание установки

Система контроля поверхности полупроводниковых пластин без топологического рисунка. Технические характеристики: размер подложек: 100, 200мм. Толщина: полупроводниковые пластины стандартной толщины. Материал: любые непрозрачные, полированные поверхности, рассеивающие менее 5 процентов падающего света. Чувствительность дефектов: эквивалентна PSL-сфере 0,09 мкм. диаметром. Чувствительность матовости: 0,02 промилле минимум. Разрешение: 0,002 частей на миллион. Точность: лучше, чем 99 процентов. Пространственное разрешение: минимум 50 мм. интервал. Динамический диапазон: 0,07 мкм. до 9,999 мм в одиночном измерении. Пропускная способность: 100 пластин в час (200 мм). Загрязнение: Менее 0,005 частиц/см² более 0,15 мм. диаметром за один проход. Обработка кассеты: держатель для одной пластины из двух кассет (один источник, два приемника). Источник освещения: 30 мВт аргоновый лазер, 488 нм. Интерфейс оператора: мышь и /или клавиатура. Высота: 168 см (66 дюймов). Вес: 300 кг (670 фунтов). Требуемый вакуум: 508 мм. рт. ст. (20 дюймов). Электрические параметры: 200 -240В, 50/60 Гц. Мощность: 2 кВт. Канальная вентиляция: два 102 мм. (4 дюйма) шланга. Требования к чистоте воздуха: класс 10 или выше [7].